| ◆Inside Leapset |
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ノボラックレジスト〜CAレジストまで 受託測定の実際が示されています。
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| ◆193nm対応レジストのシミュレーションパラメータ測定 |
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特に193nm用CAレジストについて、受託測定の実際をまとめました。
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| ◆Dillの論文解説書 |
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シミュレーションモデルの基礎、Dillモデルの解説書です。シミュレーションパラメータの基本的意味が解ります。
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| ◆感光性樹脂の評価 |
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本書では、感光性樹脂の評価方法の解説を中心に、リソグラフィーの工程に沿って、リソグラフィーの基礎から、感光性樹脂の品質管理まで、感光性樹脂の評価方法全般について、一般には公表されにくい実測データを用いてわかりやすく述べています。感光性樹脂の研究開発者の座右の書として最適です。
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受託測定に関する書籍を多数出版しています。
