半導体研究開発分野の測定・分析・評価サービス

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≪その他の測定≫
・レジストはく離液によるレジストはく離評価
・レジスト分子量の違いによる解像性の評価
・最適PEB温度の検討
・感光剤濃度の違いによる解像性の評価
・HMDSによる反射防止効果の検討

≪受託試作≫
・Crグレースケールマスクの製作
・アウトガス捕集分析装置の試作

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