露光中のレジストから発生するアウトガスは露光機のレンズを曇らせたり、今民ネーションの原因となります。露光中にどのようなガスが発生するかを検討することが出来ます。
最近はArF露光におけるレジストからのアウトガス分析の需要が高まってきています。

露光中レジストから発生するアウトガスについて詳しくはこちらのレポートをご覧ください。










◆イオンクロマト（ＩＣ）分析
イオンクロマト（ＩＣ）分析
露光中にPAG由来で発生するカチオンやアニオンをインピンジャー捕集液に捕集し、ICにより分析します。
◆ＧＣ−ＭＳ分析
ＧＣ−ＭＳ分析
露光中の樹脂または脱保護由来などで発生するVOC（揮発性有機溶剤）を捕集管に捕集し、GC-MSにより分析します。




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