露光中の樹脂または脱保護由来などで発生するVOC（揮発性有機溶剤）を捕集管に捕集し、GC-MSにより分析します。 TOP > サービスメニュー > アウトガス分析サービス > ＧＣ−ＭＳ分析 ◆詳細レポート ＧＳ−ＭＳ分析の詳細については、こちらのレポートをご覧ください。 ◆測定メニュー ●ノボラックレジスト ・g(436nm)レジストの露光中のアウトガス（VOC）分析 ・h(405nm)レジストの露光中のアウトガス（VOC）分析 ・i(365nm)レジストの露光中のアウトガス（VOC）分析 ・ブロード光対応レジストの露光中のアウトガス（VOC）分析 ●CAレジスト ・KrFレジストからのアウトガスの分析 ・露光中アウトガスの分析結果（報告書例） ・ArFレジストから発生するアウトガス分析 ◆測定装置 【ArfES-3000】OF露光およびガス捕集装置 このページについてのご質問は、以下のフォームよりお問合わせ下さい。 会社名 氏名 メール アドレス お問合せ 内容 Copyright 2008-2010 リソテックジャパン(株)アナリシス・サイエンス・グループ. All Rights Reserved. PDS by tassket