露光中の樹脂または脱保護由来などで発生するVOC（揮発性有機溶剤）を捕集管に捕集し、GC-MSにより分析します。 ◆測定 結果 Copyright 2008-2010 リソテックジャパン(株)アナリシス・サイエンス・グループ. All Rights Reserved. PDS by tassket