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| ◆詳細レポート |
イオンクロマト（ＩＣ）分析の詳細については、こちらのレポートをご覧ください。
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| ◆測定メニュー |
●ノボラックレジスト
・g(436nm)レジストの露光中のアウトガス
（アニオン・カチオン）分析
>・h(405nm)レジストの露光中のアウトガス
（アニオン・カチオン）分析
・i(365nm)レジストの露光中のアウトガス
（アニオン・カチオン）分析
・ブロード光対応レジストの露光中のアウトガス（アニオン・カチオン）分析
●CAレジスト
・KrF(248nm)レジストの露光中のアウトガス（アニオン・カチオン）分析
・ArF(193nm)レジストの露光中のアウトガス（アニオン・カチオン）分析
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| ◆測定装置 |
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露光中にPAG由来で発生するカチオンやアニオンをインピンジャー捕集液に捕集し、ICにより分析します。
