| ◆現像特性の評価・解析 |
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解析露光装置で露光量を変えながらオープンフレーム露光を行い、現像アナライザーにて現像速度測定を行います。
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| ◆屈折率測定 |
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エリプソメータにより露光前後でのレジストの屈折率を測定します。
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| ◆プロセスマージン解析 |
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リソグラフィーシミュレーションProlithにより、リソグラフィー・シミュレーションで求めたパラメータまたは、現像特性の評価・解析で求めた現像速度データ用いてシミュレーションを行います。
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| ◆分光透過率測定 |
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ノボラックレジストはUV光を照射することで、感光剤が分解し、透明になります（ブリーチング）。ブリーチングの様子を分光計を用いて、波長における変化として測定します。
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| ◆QCM法による現像中の膨潤解析 |
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アクリル系のArFレジストは現像中に膨潤することが知られています。
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光感光性材料は光を当てることにより、現像液に可溶または不溶化することで、リソグラフィ特性が生まれます。
