アクリル系のArFレジストは現像中に膨潤することが知られています。 現像中の膨潤の挙動を解析します。解析素露光装置により、QCM基板に塗布したレジストを露光、QCM現像解析装置、RDA-QZ3により現像中の膨潤量を測定します。 TOP > サービスメニュー > 光感光性材料の特性評価サービス > QCM法による現像中の膨潤解析 ◆詳細レポート 現像中の膨潤の挙動解析の詳細については、こちらのレポートをご覧ください。 ◆測定メニュー ・現像中の膨潤解析 ◆測定装置 【RDAシリーズ】現像アナライザー このページについてのご質問は、以下のフォームよりお問合わせ下さい。 会社名 氏名 メール アドレス お問合せ 内容 Copyright 2008-2010 リソテックジャパン(株)アナリシス・サイエンス・グループ. All Rights Reserved. PDS by tassket