半導体研究開発分野の測定・分析・評価サービス

ノボラックレジストはUV光を照射することで、感光剤が分解し、透明になります（ブリーチング）。ブリーチングの様子を分光計を用いて、波長における変化として測定します。
どの波長でより強くブリーチングが起こるのか？（どの波長に感度を有するか？）と言った感光特性を評価できます。

◆詳細レポート

真空紫外分光測定システムの詳細については、こちらのレポートをご覧ください。

◆測定メニュー

・波長300-800nmの範囲での分光透過率測定
・波長190-300nmの範囲での分光透過率測定

◆測定装置

【VUVSP-900】真空紫外分光測定装置

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