リソグラフィーシミュレーションProlithにより、リソグラフィー・シミュレーションで求めたパラメータまたは、現像特性の評価・解析で求めた現像速度データ用いてシミュレーションを行います。 TOP > サービスメニュー > 光感光性材料の特性評価サービス > プロセスマージン解析 ◆詳細レポート 光感光性材料特性評価の詳細については、こちらのレポートをご覧ください。 ◆測定メニュー ・FE(Foucus-Exposure)マトリクス分析 ・限界解像度の評価 ・その他のシミュレーション ◆測定ソフト 【PROLITH】リソグラフィ・シミュレータ このページについてのご質問は、以下のフォームよりお問合わせ下さい。 会社名 氏名 メール アドレス お問合せ 内容 Copyright 2008-2010 リソテックジャパン(株)アナリシス・サイエンス・グループ. All Rights Reserved. PDS by tassket