半導体研究開発分野の測定・分析・評価サービス

リソグラフィーシミュレーションProlithにより、リソグラフィー・シミュレーションで求めたパラメータまたは、現像特性の評価・解析で求めた現像速度データ用いてシミュレーションを行います。

◆測定
結果

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