エリプソメータにより露光前後でのレジストの屈折率を測定します。
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◆詳細レポート
屈折率測定の詳細については、こちらのレポートをご覧ください。
◆測定メニュー
・波長300-800nmの範囲での屈折率n,kの測定
・波長248nmでの屈折率n,kの測定
・波長193nmでの屈折率n,kの測定
◆測定装置
【UTFA-200】
エリプソメータ
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