リソグラフィーのプロセス評価には膨大な時間と労力が必要です。プロセス評価の効率的な手法として、リソグラフィーシミュレーションを用いることが大変効果的です。 シミュレーション技術は数値計算の技術であり、入力するパラメータが実際とずれていると、結果も現実から乖離してしまいます。そこで当社では、お客様からレジストをお預かりして、専門技術を駆使したシミュレーションパラメータの受託測定を行っております。 リソグラフィー・シミュレーションについては、こちらのレポートで詳細を記載しています。 またリソグラフィー・シミュレーションで使用するソフトは、 KLA−TENCOR社のProlithに対応しています。 TOP > サービスメニュー > リソグラフィー・シミュレーションサービスメニュー ◆ＡＢＣパラメータ測定 ABCパラメータは、フォトレジストの感光性に関わるシミュレーションパラメータです。 ノボラックレジストとCAレジストのABCパラメータ測定メニューをご用意しています。 ◆現像パラメータ測定 フォトレジストの現像に関わるシミュレーションパラメータです。感光剤濃度または保護基濃度と現像速度の関係を求めます。 現像モデルは3種類で、ノボラックレジストとCAレジストの現像パラメータ測定メニューをご用意しています。 ◆ベークパラメータ測定 ベークパラメータとは、ノボラックレジストにおいては、プリベーク時における感光剤の熱分解、CAレジストにおいては、PEB時における脱保護反応に関わるパラメータです。 ベークパラメータは温度の関数であり、アレニウスプロットから活性化エネルギーと頻度因子として求めます。 ◆受託測定条件表 ＆受託測定価格表 ●レジストパラメータ受託測定条件表 ●受託測定価格表 Copyright 2008-2010 リソテックジャパン(株)アナリシス・サイエンス・グループ. All Rights Reserved. PDS by tassket