半導体研究開発分野の測定・分析・評価サービス

ベークパラメータとは、ノボラックレジストにおいては、プリベーク時における感光剤の熱分解、CAレジストにおいては、PEB時における脱保護反応に関わるパラメータです。
ベークパラメータは温度の関数であり、アレニウスプロットから活性化エネルギーと頻度因子として求めます。

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◆詳細レポート

ベークパラメータの詳細については、こちらのレポートをご覧ください。

◆測定メニュー

●ノボラックレジスト
・g(436nm)レジストのベークパラメータ測定
・h(405nm)レジストのベークパラメータ測定
・i(365nm)レジストのベークパラメータ測定
・ブロード光対応レジストのベークパラメータ測定

●CAレジスト
・KrF(248nm)レジストのPEBパラメータ測定
・ArF(193nm)レジストのPEBパラメータ測定

◆測定装置

【PAGA-100】露光・ベーク機能付きFT-IR

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