フォトレジストの現像に関わるシミュレーションパラメータです。感光剤濃度または保護基濃度と現像速度の関係を求めます。 現像モデルは3種類です。 ▼Mackのオリジナルモデル ▼Mackのエンハンスドモデル ▼ノッチモデル ノボラックレジストとCAレジストの現像パラメータ測定メニューをご用意しています。また、表面難溶化パラメータも現像パラメータとして測定します。 TOP > サービスメニュー > リソグラフィー・シミュレーションサービスメニュー > 現像パラメータ測定 ◆詳細レポート 現像パラメータの詳細については、こちらのレポートをご覧ください。 ◆測定メニュー ●ノボラックレジスト ・g(436nm)レジストの現像パラメータ測定 ・h(405nm)レジストの現像パラメータ測定 ・i(365nm)レジストの現像パラメータ測定 ・ブロード光対応レジストの現像パラメータ測定 ●CAレジスト ・KrF(248nm)レジストの現像パラメータ測定 ・ArF(193nm)レジストの現像パラメータ測定 （表面難溶化パラメータも含みます） ◆測定装置 【RDA】レジスト現像アナライザー このページについてのご質問は、以下のフォームよりお問合わせ下さい。 会社名 氏名 メール アドレス お問合せ 内容 Copyright 2008-2010 リソテックジャパン(株)アナリシス・サイエンス・グループ. All Rights Reserved. PDS by tassket