ABCパラメータは、フォトレジストの感光性に関わるシミュレーション パラメータです。1972年にF.H.Dillらによって提唱されてから、DillのABCパラメータと呼ばれています。 Aは感光剤の光吸収、Bはベース樹脂の光吸収、Cは感光剤の分解速度を示します。 ノボラックレジストとCAレジストのABCパラメータ測定メニューをご用意しています。 TOP > サービスメニュー > リソグラフィー・シミュレーションサービスメニュー > ABCパラメータ ◆詳細レポート ABCパラメータの詳細については、こちらのレポートをご覧ください。 ◆測定メニュー ●ノボラックレジスト ・g(436nm)レジストのABCパラメータ測定 ・h(405nm)レジストのABCパラメータ測定 ・i(365nm)レジストのABCパラメータ測定 ・ブロード光対応レジストのABCパラメータ測定 ●CAレジスト ・KrF(248nm)レジストのABCパラメータ測定 ・ArF(193nm)レジストのABCパラメータ測定 ◆測定装置 【UVES-2000】ABCパラメータおよびOF露光 【ArFES-3000】193nmにおけるABCパラメータ このページについてのご質問は、以下のフォームよりお問合わせ下さい。 会社名 氏名 メール アドレス お問合せ 内容 Copyright 2008-2010 リソテックジャパン(株)アナリシス・サイエンス・グループ. All Rights Reserved. PDS by tassket