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光感光性材料の特性評価サービス |
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| 光感光性材料は光を当てることにより、現像液に可溶または不溶化することで、リソグラフィ特性が生まれます。そこで、当社の解析露光装置および、現像アナライザーを用いて、現像特性の評価を行います。また、露光による屈折率の変化や、透過率の変化を知ることで、その材料のリソ特性を把握することが可能となります。 |
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アウトガス分析サービス |
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| 露光中のレジストから発生するアウトガスは露光機のレンズを曇らせたり、今民ネーションの原因となります。露光中にどのようなガスが発生するかを検討することが出来ます。最近はArF露光におけるレジストからのアウトガス分析の需要が高まってきています。 |
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液浸Leaching分析サービス |
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| ArF液浸露光では、レジスト膜またはトップコート（TC）が液浸液に接した際の溶出物質が問題となります。オランダASML社は昨年11月、その許容基準を発表。また、ベルギーIMECにて測定手法（WEXA法）が発表されました。当社ではいち早くWEXAを装置化し、受託測定を開始しました。 |
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ナノインプリント実験サービス |
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| 当社では、早くより、プロセス開発用のナノインプリント装置の開発を行ってきました。保有するデモ機によりナノインプリント受託実験サービスを行っております。 |
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レジスト剥離サービス |
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| フォトテストに使用したSi基板上のレジストの剥離・洗浄サービスを行っております。 |
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